PECVD真空腔等离子增强化学气相积

PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺，而PECVD真空腔是PECVD工艺所需的重要设备载体之一。

真空腔是指保证内部真空状态的容器设备。在技术要求不断升级的背景下，大多数先进技术都需要在真空或惰性气体的保护下完成。因此，真空腔应运而生，成为保证各种工艺顺利实施的关键设备。

PECVD真空腔等离子增强化学气相积（PECVD）真空腔在技术过程中的总称。PECVD真空腔可分为两类：PECVD真空工艺腔和PECVD真空传输腔；PECVD真空腔可分为不锈钢、铝合金、钛合金真空腔等。

等离子增强化学气相积累（PECVD）它是一种化学气相积累技术，是指利用低温等离子体在真空腔阴极上产生光放电，通过光放电加热样品，然后与气体反应，使样品表面形成固体膜的过程。PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺，而PECVD真空腔是PECVD工艺所需的重要设备载体之一。PECVD真空腔体产业在下游薄膜光伏电池市场快速发展的推动下，迎来了新的发展机遇。

PECVD工艺异质结（HJT）广泛应用于光伏电池中。HJT电池是光伏电池行业具有颠覆性技术的新型电池。目前，在光伏发电行业快速发展的背景下，其工业化进程正在加快。目前，爱康科技、宝鑫科技、东方日升等企业已布局HJT电池项目，2022年国内HJT电池扩产规模为20-30GW。根据新思界产业研究中心发布的《2023-2028年PECVD真空腔行业市场深入调研及投资前景预测分析报告》，预计到2025年，中国PECVD真空腔市场规模有望达到7.9亿元，2023-2025年复合规模年增长率将超过100%。

PECVD真空腔是大型铸件之一。目前，我国大规模生产能力企业主要包括明智科技、日阳科技、神商精密设备、帕萨电子设备等。目前，我国HJT电池尚未产业化。因此，PECVD真空腔行业作为其配套设备，仍处于初步发展阶段，企业布局较少。

新思界产业分析师表示，异质结（HJT）电池是一种高效的晶硅太阳能电池结构，是一种具有巨大发展潜力的太阳能电池。目前，在其优势不断突出的背景下，其工业化进程正在加快。作为HJT电池核心生产工艺PECVD的关键设备载体，PECVD真空腔的市场需求不断增加。但国内PECVD真空腔行业仍处于初步发展阶段，未来仍有巨大的增长空间。