1、真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求,所选真空泵的真空度最佳值为133pa=-0.1兆帕。泵的真空度通常比真空设备的真空度高半到一个数量级。
2、正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围。
3、在工作压力下,真空泵应能够排出真空设备过程中产生的所有气体量。
4、真空泵的正确组合。由于真空泵有选择性泵,有时选择泵不能满足泵的要求,相互补充以满足泵的要求。例如,钛升华泵对氢的泵速度很高,但不能泵氦,而三极溅射离子泵,(或非对称阴极溅射离子泵)氩气有一定的泵送速度,两者的组合将使真空装置获得更好的真空度。此外,一些真空泵不能在大气压下工作,需要预先进行真空;有些真空泵出口压力低于大气压,需要前泵,所以泵需要组合使用。
5、真空设备对油污染的要求。如果设备严格要求无油,应选择各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,您可以选择油泵,加上一些防油污染措施,如加入冷陷阱、屏障、油陷阱等,也可以满足清洁真空的要求,我们的真空干燥箱是旋转油泵,其主要特点:强度大,速度快,效率高。
6、了解被泵气体的成分,气体中是否含有可凝蒸汽、颗粒粉尘、腐蚀性等。选择真空泵时,需要
了解气体成分,选择相应的泵作为泵气体。如果气体中含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体,则应考虑在泵的进气管道上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器或液体水过滤器。
7、真空泵排出的油蒸气对环境有什么影响?若环境不允许污染,可选择无油真空泵,或将油蒸气排放到室外。
8、真空泵工作时产生的振动是否会影响工艺过程和环境。工艺过程不允许的,应选择无振动泵或采取防振措施。
9、真空泵的价格、运行和维护费用。
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